脉冲激光烧蚀法在制备硅纳米颗粒过程中,缓冲气体压力是一个关键参数。研究发现,在50-100 Pa的氩气压力范围内,硅纳米颗粒的尺寸均匀,并随气压增大而减小。通过扫描电镜观察和粒度统计分析,确认了这一关系,并对脉冲激光烧蚀法的动力学进行了理论分析。光致发光测试显示,硅纳米颗粒在280 nm光激发下表现出蓝紫光区的发光特性,其中在50 Pa气压下显示双峰结构(372 nm和445 nm),而在70 Pa和100 Pa气压下则分别呈现单一的紫光峰(379 nm和393 nm)。这些发现归结为硅纳米颗粒表面氧化层的表面态效应。